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原子力顯微鏡
FM-Nanoview 1000AFM
一. 主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1、主機(jī)與控制箱分開,外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;
2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體,抗干擾能力強(qiáng);
3、精密激光定位裝置,使用時(shí)無需調(diào)節(jié)光斑位置;
4、采用精密探針定位模塊,更換探針簡(jiǎn)單方便;
5、采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描;
6、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制,驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
7、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置,可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域;
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇;
9、帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù);
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用;
12、彈簧懸掛式防震方式,簡(jiǎn)單實(shí)用,抗干擾能力強(qiáng)。
13、帶溫控、濕控功能
軟件系統(tǒng)
13、可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512;
14、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時(shí)查看剖面圖;
15、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
16、可任意選擇樣品起始掃描角度;
17、激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能;
18、可任意定義掃描圖像的色板功能;
19、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能;
20、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正;
21、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
二. 主要技術(shù)指標(biāo)
22、工作模式:接觸、輕敲,可擴(kuò)展相位、摩擦力、磁力或靜電力
23、樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
24、最大掃描范圍:橫向20um,縱向2um
25、掃描分辨率:橫向0.2nm,縱向0.05nm
26、掃描速率:0.6Hz~4.34Hz
27、掃描角度:任意
28、樣品移動(dòng)范圍:0~20mm
29、馬達(dá)趨近脈沖寬度:10±2ms
30、光學(xué)放大倍數(shù): 4X
31、光學(xué)分辨率:2.5um
32、圖像采樣點(diǎn):256×256,512×512
33、掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
34、數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
35、反饋方式:DSP數(shù)字反饋
36、反饋采樣速率:64.0KHz
37、計(jì)算機(jī)接口:USB2.0
38、運(yùn)行環(huán)境:運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)
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